LODO EN VOLADIZO DE CARBURO DE SILICIO
Áreas de aplicación: en hornos de difusión y hornos de difusión por oxidación de alta temperatura utilizados en la industria de fabricación de semiconductores para realizar el crecimiento térmico y la oxidación de obleas de silicio, la paleta en voladizo es un componente clave del sistema de carga de obleas para garantizar la uniformidad de las obleas y del tubo del horno durante más tiempo. difusión y oxidación uniformes. Las paletas voladizas de carburo de silicio se caracterizan por su alta resistencia, alta pureza, alta conductividad térmica, ausencia de porosidad, resistencia a la corrosión ácida y alcalina, ausencia de contaminación a altas temperaturas, buena estabilidad al choque térmico y alta capacidad de carga. Combinado con un coeficiente de expansión térmica similar al de los recubrimientos LPCVD, el uso de paletas en voladizo de carburo de silicio en LPCVD puede extender significativamente los ciclos de limpieza de mantenimiento y reducir en gran medida la contaminación.
Descripción
Una de las principales ventajas de la suspensión en suspensión de carburo de silicio es su capacidad para ofrecer resultados consistentes y uniformes. La lechada puede proporcionar un acabado suave y una excelente calidad de superficie, asegurando que las piezas mecanizadas estén libres de rayones, grietas u otros defectos.
Otro beneficio de la suspensión en suspensión de carburo de silicio es que es respetuosa con el medio ambiente. La lechada no contiene compuestos peligrosos ni productos químicos tóxicos, lo que la hace segura de usar y eliminar.
Además, la suspensión de carburo de silicio es muy rentable ya que reduce significativamente el desperdicio de material y el tiempo de procesamiento. La lechada puede eliminar material a un ritmo más rápido que las técnicas tradicionales de esmerilado y pulido, aumentando así la eficiencia del proceso de fabricación.
