BANDEJA DE CARBURO DE SILICIO
Aplicaciones: proceso de grabado ICP para materiales de película delgada de capa epitaxial (GaN, SiO2, etc.) para núcleos de obleas LED, difusión de semiconductores utilizando piezas cerámicas de precisión y proceso epitaxial MOCVD para obleas semiconductoras. Las bandejas cerámicas de carburo de silicio están hechas de material cerámico de carburo de silicio sinterizado de alta pureza y sin presurización, que tiene las ventajas de alta dureza, resistencia al desgaste, alta conductividad térmica, estabilidad mecánica a altas temperaturas y resistencia a la corrosión, así como alta precisión y uniformidad. de grabado de la capa epitaxial de oblea.
Descripción
Las bandejas de SiC tienen muchas ventajas respecto a otro tipo de bandejas. En primer lugar, su alta conductividad térmica los hace ideales para procesos de tratamiento térmico, como sinterización y soldadura fuerte. Pueden soportar temperaturas de hasta 1650 grados sin deformarse ni degradarse, lo que significa que pueden usarse en entornos hostiles donde otros materiales fallarían.
En segundo lugar, las bandejas de carburo de silicio son químicamente inertes y no reaccionan con la mayoría de los productos químicos, incluidos ácidos, bases y sales. Esta característica los hace ideales para su uso en las industrias química y farmacéutica, donde a menudo se utilizan productos químicos agresivos.
En tercer lugar, las bandejas de SiC son muy resistentes a la abrasión y tienen un bajo coeficiente de expansión térmica. Esto los hace ideales para su uso en aplicaciones de hornos de alta temperatura donde las piezas deben encajar bien y no expandirse ni contraerse debido a los cambios térmicos.
