Evaporation Boat in Electronic Device Manufacturing: un portador clave para recubrimientos de precisión

Evaporation Boat en la industria de fabricación de dispositivos electrónicos se utiliza principalmente en chips de semiconductores, pantallas planas, componentes electrónicos y otros procesos de fabricación, de la siguiente manera:
Fabricación de chips de semiconductores
Formación de la capa de interconexión de metal: el chip necesita construir líneas conductoras de metal complejas para conectar los transistores y los módulos funcionales. Los barcos de evaporación se usan comúnmente para evaporar materiales metálicos como el aluminio y el cobre. En un entorno de vacío, el material metálico se calienta a evaporación de alta temperatura en el barco de evaporación, y luego se deposita en la superficie de la oblea para formar un patrón de interconexión de metal preciso a través de la fotolitografía, el grabado y otros procesos para realizar la transmisión de señales eléctricas dentro del chip.
Preparación de capas de barrera y difusión: para evitar que los iones metálicos se difundan en la estructura del chip y afecten el rendimiento del chip, se debe preparar una capa de barrera entre la capa metálica y la capa semiconductora. Los barcos de evaporación se pueden usar para evaporar materiales como el nitruro de titanio (estaño) como una capa de barrera. Además, en algunos procesos, también es necesario evaporar los átomos de impureza, como el boro y el fósforo, a través del bote de evaporación para formar una capa de difusión, para controlar con precisión las propiedades eléctricas del dispositivo semiconductor, como la formación de la región semiconductor de tipo P-tipo o N-type.
Fabricación de pantallas de panel plano
Preparación de electrodos conductores transparentes: tanto para pantallas de cristal líquido (LCD) como para pantallas de diodos emisores de luz orgánica (OLED), se requieren electrodos conductores transparentes para conducir los píxeles para emitir luz. Los barcos de evaporación se pueden usar para evaporar materiales conductores transparentes como el óxido de estaño de indio (ITO), que tiene buena conductividad y transparencia. ITO se usa para formar una película de ITO uniforme en un sustrato de vidrio a través del proceso de evaporación, y luego estampado por fotolitografía y otros procesos como un electrodo para controlar la transferencia de carga y la luminiscencia de píxeles en la pantalla.
Deposición de la capa de emisión de luz orgánica: en la fabricación de exhibiciones OLED, el barco de evaporación es la herramienta clave para depositar materiales orgánicos emisores de luz. Al controlar con precisión la temperatura y la tasa de evaporación del barco de evaporación, el material OLED se evapora y se deposita en el sustrato para formar una capa OLED ultra delgada. Los diferentes materiales emisores de luz orgánicos pueden emitir diferentes colores de luz, a través de la combinación de capa emisora ​​de luz orgánica de múltiples capas y control preciso, pueden lograr una alta resolución y pantalla OLED de saturación de alta color.
Fabricación de componentes electrónicos
Preparación de la resistencia de película delgada: las resistencias de película delgada son componentes comúnmente utilizados en circuitos electrónicos y se realizan depositando una película delgada con una resistividad específica en un sustrato aislante. Los barcos de evaporación se pueden usar para evaporar materiales resistivos como la aleación de níquel-cromo (NICR) y el nitruro tantalum (TAN). Al controlar los parámetros del proceso de evaporación, el grosor y la resistividad de la película pueden controlarse con precisión, dando así la preparación de resistencias de la película con diferentes valores de resistencia para satisfacer las necesidades de varios circuitos electrónicos.
Fabricación de condensadores de cerámica multicapa (MLCC): los MLCC están hechos de múltiples capas de dieléctricos de cerámica y electrodos de metal apilados alternativamente. Los barcos de evaporación se utilizan en la fabricación de MLCC para evaporar materiales de electrodos internos como paladio (PD), plata (AG) y otros metales. Durante la preparación de la capa dieléctrica de cerámica, los electrodos metálicos se depositan en la superficie de la lámina de cerámica por el proceso de evaporación, y luego la estructura multicapa está formada por los procesos de apilamiento y sinterización para lograr una alta densidad de capacitancia y miniaturización del condensador.
Desde los contactos de metal de los teléfonos inteligentes hasta la película permeable a las gafas AR, Evaporation Boat como el "héroe detrás de escena" de la fabricación de dispositivos electrónicos, es a través de la innovación de materiales y la actualización inteligente, promoviendo el límite del avance de la tecnología de procesamiento de micro-nano. Con el aumento de los semiconductores de tercera generación y la electrónica flexible, la tecnología de barcos de evaporación continuará evolucionando y convertirse en un consumible de alta gama indispensable en la cadena de la industria.

Shengyang New Material Co., Ltd. está comprometido con la producción de productos procesados ​​con nitruro de boro y nitruro de boro, y puede personalizar varias piezas cerámicas aislantes de nitruro de boro de acuerdo con las necesidades del cliente. Contáctenos si es necesario.
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